ทำความสะอาดห้องภายในพื้นที่บางส่วนของอนุภาคฝุ่นในอากาศ อันตรายของก๊าซ แบคทีเรียที่เป็นอันตราย เช่นการปล่อยมลพิษ และอุณหภูมิในร่ม ความสะอาด ความดันภายในกลั้น พายุไซโคลนความเร็วไซโคลนกระจัดกระจาย เสียง การสั่นสะเทือน และแสง อุปกรณ์ควบคุมสถิตย์ในพื้นที่ข้อกำหนดเฉพาะและกำหนดสูตรพิเศษด้วยช่องว่าง กล่าวคือ ไม่ว่าสภาพแวดล้อมของอากาศภายนอกจะเปลี่ยนแปลงไปอย่างไร อากาศก็สามารถรักษาความสะอาด อุณหภูมิและความชื้น ความดัน และลักษณะการทำงานอื่นๆ ของมาตรฐานที่ตั้งไว้เดิมได้
หน้าที่หลักของห้องทำความสะอาดคือการควบคุมระดับการทำความสะอาดวัน อุณหภูมิและความชื้นของอากาศที่ผลิตภัณฑ์ระดับองค์กร (เช่น ชิปซิลิกอน ฯลฯ) สัมผัส เพื่อให้ผลิตภัณฑ์ระดับองค์กรสามารถผลิตได้ในระดับภูมิภาคที่ได้รับการดูแลเป็นอย่างดี พื้นที่สิ่งแวดล้อมที่เรียกว่าห้องทำความสะอาด ตามแบบแผน ส่วนใหญ่กำหนดเกรดการทำให้บริสุทธิ์ตามจำนวนอนุภาคในอากาศแต่ละลูกบาศก์เมตรที่มีเส้นผ่านศูนย์กลางเกินข้อกำหนดการแบ่ง กล่าวอีกนัยหนึ่ง ความสะอาดไม่ใช่การไม่มีฝุ่นเพียงเล็กน้อย แต่อยู่ในหน่วยที่น้อยมาก แน่นอนบรรทัดฐาน
ตามอนุภาคมาตรฐานฝุ่นเมื่อเทียบกับฝุ่นแห้งขณะนี้ไมโครแบนขนาดเล็กของไมโคร แต่สำหรับโครงสร้างแสงอิเล็กทรอนิกส์ ฝุ่นเล็ก ๆ น้อย ๆ เป็นผลกระทบใหญ่มาก ดังนั้นในผลิตภัณฑ์องค์กรโครงสร้างแสงอิเล็กทรอนิกส์
ในอดีต ความสะอาดเป็นบรรทัดฐานที่จำเป็น
ปริมาณฝุ่นแห้งขนาดเล็กที่มีขนาดอนุภาค A 0.3 ไมครอนถูกควบคุมต่ำกว่า 3500 ต่อลูกบาศก์เมตร ซึ่งถึงระดับ A ของรหัสการทำความสะอาดสากล ข้อมูลจำเพาะด้านความสะอาดในปัจจุบันที่ใช้ในการผลิตระดับเศษและการประมวลผลของฝุ่นเป็นเกรด A แบบแห้งสูง และมาตรฐานระดับสูงดังกล่าวจะถูกนำมาใช้เป็นหลัก
- ผลิตชิปเกรดสูงกว่าบางรุ่น ปริมาณฝุ่นละเอียด 0.5um และต่ำกว่านั้นควบคุมอย่างเข้มงวดภายใน 1,000 ต่อลูกบาศก์เมตร ซึ่งเป็นที่รู้จักกันทั่วไปว่าเป็นระดับที่พันในอุตสาหกรรม
สถานะคลีนรูมแบ่งออกเป็นสามประเภทดังต่อไปนี้
เครื่องปรับอากาศ : อัตราความสะอาด (อุปกรณ์) ที่จัดสร้างและพร้อมใช้งาน มีการรับประกันและการทำงานทั้งหมดที่เกี่ยวข้องกับอัตราความสะอาด อย่างไรก็ตามไม่มีผู้ปฏิบัติงานและไม่มีอุปกรณ์การผลิตอยู่ในอัตราที่สะอาด
คงที่: คลีนรูมทุกชนิดทำงานได้อย่างสมบูรณ์ มีการติดตั้งอุปกรณ์อย่างเหมาะสม และสามารถใช้หรือใช้งานคลีนรูม (อุปกรณ์) ตามการตั้งค่าได้ แต่ไม่มีการใช้งานในห้องคลีนรูม
ไดนามิก: คลีนรูมในการใช้งานปกติ ฟังก์ชั่นคลีนรูมเสร็จสมบูรณ์ พร้อมอุปกรณ์และบุคลากร หากจำเป็น สามารถทำงานได้ตามปกติ